Spektrometry fluorescencji rentgenowskiej z dyspersją fali (WDXRF) charakteryzują się wysoką rozdzielczością co oznacza mniej nałożonych widm i niższą intensywność tła.
W przypadku techniki WDXRF zazwyczaj nie ma potrzeby stosowania procedur rozdzielania widm, które mogą wprowadzać błędy. Wykorzystując metodę WDXRF mamy możliwość analizowania pierwiastków lekkich już od berylu (Be). Jest to też metoda zalecana dla pierwiastków ziem rzadkich.